PFA管可以防靜電嗎？

什麼是 PFA 管？

PFA（全氟烷氧基乙烯共聚物）具備極佳的耐化學性、耐高溫性與低溶出特性，廣泛應用於需要高潔淨度的流體輸送系統。PFA 管可選擇搭配PFA管、PFA接頭及PFA內襯，確保整體管線系統的完整性與潔淨要求。

為何半導體設備需要防靜電？

在半導體的乾製程與濕製程中，靜電會導致塵埃吸附、元件擊穿，甚至干擾敏感量測與漏液偵測。因此具備防靜電功能的管材與配件，可避免靜電累積並提高良率。

PFA 管本身可以防靜電嗎？

純 PFA 為絕緣材料，表面電阻極高，不具備防靜電能力。但可以透過以下兩種方式實現：

* 導電添加劑：在 PFA 中加入碳粉或碳纖維，可製造出靜電耗散級 PFA 管，表面電阻降低至 10^9–10^11 Ω。
* 表面塗層 + 接地：使用導電塗層，並透過金屬接地設計確保靜電迅速導出。

此外，若需防爆安全，塗層與接地設計也可避免高電壓或火花引發危害。

如何選擇適用於半導體設備的 PFA 管配件？

1. PFA管與PFA接頭搭配導電設計與接地孔，確保整包管線具有防靜電效果。
2. 建議選用具備 ISO 潔淨等級、FDA/RoHS/REACH 認證的產品，符合半導體製程高潔淨、高安全需求。
3. 若應用於防爆環境，還應注意塗層厚度與防火認證。

實證案例分享

設備商如TSMC、ASML、AMAT 等已在乾／濕製程中採用防靜電 PFA 管。實測結果顯示，原純 PFA 管表面電阻約 10^16 Ω，加入導電設計後可穩定在 10^9–10^11 Ω，明顯提升靜電耗散效率及良率表現。

結論與建議

要讓 PFA 管達到防靜電效果，需透過導電材料或塗層加接地設計，並搭配防爆塗層。選擇具備潔淨、FDA/RoHS/REACH 認證且整合PFA Tube、PFA Fitting之管材，是半導體設備最佳選擇。如需深入技術建議或測試報告，歡迎聯絡 ESI Products Inc.。
ESI Products Inc. 成立於 1992 年，是高品質 PTFE 與其他高性能工程塑料（如 PFA, PEEK, PVDF, PCTFE）領導廠商。我們的產品涵蓋板材、棒材、管材、薄膜、精密加工件、密封件等，通過 FDA、RoHS、REACH 認證，適用於化工、食品、醫療、電子、汽車及半導體設備等產線。